六氟化硫气体在合成过程中产生的杂质外，还可将少量杂质，如空气、水分和矿物油混入气体填充过程中，所有这些杂质都含有或将产生某些有毒物质。因此，为了确保纯度和质量，对将要出厂的六氟化硫制定了新的的质量标准，并要求制造商在供应时在生物试验中提供无毒证书。
1、高温电弧作用下电气设备中SF6气体会产生的一些有毒产品。例如：SF6气体在电弧中分解并与氧反应：会产生氟化硫酰、氟化亚硫酰、四氟化硫酰等有毒物质。
2、将六氟化硫气体在电气设备中分解后与其中的水发生反应，生成一定的有毒产物。例如，sf6气体馏分与水的二次反应生成硫酸、氢氟酸、二氧化硫等。
3、电器设备中的SF6气体和分解剂与电极(Cu-W合金)和金属材料(Al，Cu)发生反应，生成一些有毒的产物。例如，六氟化硫气体和分解物与电极或其他材料发生反应：固体粉末——如AlF3(固体粉末)、CuF2(固体粉末)。
4、电气设备中的SF6气体和分解器与绝缘材料反应产生某些有毒产品。如含硅成分的环氧酚醛玻璃布片(棒、管)等绝缘部件；或用环氧树脂铸件、模塑件和陶瓷瓶、硅橡胶、石英砂和玻璃填充的硅脂生产SiF4、Si(CH3)2F2等产品，如环氧树脂浇注件、模塑件和瓷瓶、硅橡胶、硅树脂润滑脂等。